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[HF20252201]基于高能激光制造技术的传感器超精密加工成交公告
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|地区：湖北
|类型：结果公示
基本信息
信息类型：结果公示
区域：湖北
源发布时间：2025-08-15
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1.项目名称：基于高能激光制造技术的传感器超精密加工

2.成交供应商名称：广东空天科技研究院（南沙）

3.成交供应商地址：广州市南沙区前知路2号

4.成交金额(折合人民币)：129380元

5.付款方式：合同签订后7个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后7个工作日之内支付合同金额70%。

6.主要成交标的：

序号

服务内容

服务期限

1

使用高能激光切割技术对10张溅射了金属的聚酰亚胺薄膜进行超精密图案化加工，确保切割误差小于40微米，金属材质为铂

自合同签订之日起至2025年9月10日

2

使用高能激光束对100个传感器进行激光剥离，使传感器PZT牺牲层温度升高而产生翘曲变形，从而使传感器与硬质基底分离

自合同签订之日起至2025年9月10日

3

采用高能激光烧蚀技术对100个热流传感器的热电堆上方PZT薄膜进行表面处理，使热电堆冷热端上方PZT热阻层厚度不一致

自合同签订之日起至2025年9月10日

4

采用高能激光束对10张溅射了金属的聚酰亚胺薄膜进行双面超精密激光扫描制备电极和局部激光切割制备通孔，确保切割误差小于50微米，金属材质为铂

自合同签订之日起至2025年9月10日

5

采用高能激光切割技术对10张大于100微米的聚酰亚胺薄膜进行超精密图案化加工

自合同签订之日起至2025年9月10日

                                                                       

 

******大学智能制造装备与技术全国重点实验室

2025年08月15日

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快照：2025-08-15
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